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硅片扩散超声波清洗机

硅片扩散超声波清洗机

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硅片扩散超声波清洗机该设备用于晶圆片扩散、蒸发、CAV生产前的清洗处理。该机共有六种清洗方式可供选择,清洗程序为纯水清洗、胆碱清洗、冷热纯水冲洗、酸洗(HF)、纯水清洗。

硅片扩散超声波清洗机的详细资料:

硅片扩散超声波清洗机概述:

该设备用于晶圆片扩散、蒸发、CAV生产前的清洗处理。该机共有六种清洗方式可供选择,清洗程序为纯水清洗、胆碱清洗、冷热纯水冲洗、酸洗(HF)、纯水清洗。其工艺性能指标及可靠性完全达到进口同类设备水平,但价格、售后服务、备品备件的供给等是进口设备无法比拟的。

硅片扩散超声波清洗机主要特点:

采用进口PP板制作。

适用2-6寸硅片清洗。

超声功率强劲,性能稳定。


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